薄膜

 バルク(一般にガラス基板)上に堆積した厚さ数nmから数100nmの金属、無機物、有機物から成る膜状物質を指し、数多くのデバイスやコーティングとして用いられている。
 (機能と効果) 光学薄膜は多層構造で成膜する事が多いのですが、ここでは、その説明を簡単にするために単層膜の反射防止膜を例に取ります。
 文字通り「薄い膜」という意味ですが、私達が研究対象としているのは数百ナノメートル以下の厚さの膜です。
 数μm以下の厚みの層を指しますが、その厚みは分析装置の分解能(2つのものを見分ける能力)以下であるため、目的の層以外の組成情報まで含まれてしまい、従来の手法ではうまく組成分析することは出来ませんでした。
 絶対的な量を得ることが難しいので、量の必要な比熱、中性子回折、NMRなどの測定には不向きです。
 光の干渉作用を利用することにより"デザイン"された光学特性(透過率、反射率など)が付与された薄膜のことを示します。
 厚さがおよそ1nm以下から1μm程度の物質の総称。
 その説明を簡単にするために単層膜の反射防止膜を例に取ります。
 おおよそ厚さが1μm程度以下の, 薄い膜のことを言う。
 同じ結晶性を持ち, PZT 薄膜と基板の熱膨張係数。
 (基本膜構成例) 薄膜トップ。
 nmよりさらに小さいÅ(オングストローム)という精度の薄さになります。
 アルミニウムが活性元素であるため結晶成長が困難で、CIGS系と比べると研究報告例は皆無です。
  (機能と効果) 光学薄膜とは (基本膜構成) 真空蒸着とは。
 薄膜」の衝突で誕生!? 2001年4月17日 一部訂正。
[2009-05-12]